सदस्य:Sagar Chandra k/प्रयोगपृष्ठ

एमईएमएस:

(एमईएमएस भी माइक्रो इलेक्ट्रो मैकेनिकल, एमईएमएसया शास्त्रीय और एमईएमएससिस्टम और संबंधित एमईएमएसके रूप में लिखा है) बहुत छोटे उपकरणों की तकनीक है; एमईएमएससिस्टम और नैनो। एमईएमएस भी जापान में एमईएमएस, या माइक्रो सिस्टम प्रौद्योगिकी यूरोप में (एमएसटी) के रूप में करने के लिए भेजा जाता है।

एमईएमएस आणविक नैनो या आणविक इलेक्ट्रॉनिक्स के काल्पनिक दृष्टि से अलग और विशिष्ट हैं। एमईएमएस आकार (यानी 0.001 मिमी 0.1) में 1 से 100 माइक्रोमीटर के बीच घटकों से

बना है, और एमईएमएस उपकरणों आम तौर पर 20 माइक्रोमीटर से एक करने के लिए आकार में सीमा रहे हैं मिलीमीटर (अर्थात् 0.02-1.0 मिमी)। वे आम तौर पर डेटा (माइक्रोप्रोसेसर) और ऐसे एमईएमएस के रूप में परिवेश के साथ बातचीत कई घटक है कि प्रक्रियाओं है कि एक केंद्रीय इकाई से मिलकर बनता है। इन आकार तराजू में शास्त्रीय भौतिकी के मानक निर्माणों हमेशा उपयोगी नहीं हैं। क्योंकि मात्रा एमईएमएस, ऐसे इलेक्ट्रोस्टाटिक्स के रूप में सतह प्रभाव का अनुपात और ऐसे जड़ता या थर्मल जन के रूप में मात्रा प्रभाव के ऊपर हावी गीला करने के लिए बड़े सतह क्षेत्र की।

प्रौद्योगिकी कि उन्हें बना सकता अस्तित्व में पहले बहुत छोटी मशीनों की क्षमता की सराहना की थी (उदाहरण के लिए, देखते हैं, रिचर्ड फेनमैन के प्रसिद्ध 1959 व्याख्यान कमरे के बहुत नीचे में नहीं है)। वे संशोधित का उपयोग कर निर्मित किया जा सकता है एक बार एमईएमएस व्यावहारिक बन गया अर्धचालक उपकरण निर्माण प्रौद्योगिकी, सामान्य रूप से इलेक्ट्रॉनिक्स बनाने के लिए इस्तेमाल किया। ये मोल्डिंग और चढ़ाना, गीला नक़्क़ाशी और सूखी नक़्क़ाशी (आर.आई.ई), विद्युत निर्वहन मशीनिंग (ईडीएम), और छोटे उपकरणों के विनिर्माण के लिए सक्षम अन्य प्रौद्योगिकियों में शामिल हैं। एक विद्युत अखंड गुंजयमान यंत्र - एक एमईएमएस डिवाइस का एक प्रारंभिक उदाहरण रेसोनतोर् है।

एमईएमएस निर्माण के लिए सामग्री:

बुनियादी तकनीकों यानी, अर्धचालक उपकरण निर्माण में प्रक्रिया प्रौद्योगिकी से विकसित एमईएमएस के निर्माण के लिए आवश्यक आकार का उत्पादन करने के लिए फोटोलिथोग्राफी और नक़्क़ाशी द्वारा सामग्री की परतों के जमाव, पत्तेर्निङ् हैं।

सिलिकन:

सिलिकॉन आधुनिक उद्योग में उपभोक्ता इलेक्ट्रॉनिक्स में इस्तेमाल सबसे एकीकृत सर्किट बनाने के लिए सामग्री का इस्तेमाल किया है। पैमाने की अर्थव्यवस्थाओं, सस्ते उच्च गुणवत्ता की सामग्री और इलेक्ट्रॉनिक कार्यक्षमता शामिल करने की क्षमता के लिए तैयार की उपलब्धता एमईएमएस आवेदनों की एक विस्तृत विविधता के लिए सिलिकॉन आकर्षक बनाते हैं। सिलिकॉन भी महत्वपूर्ण लाभ के माध्यम से है।

इसकी सामग्री गुण। एकल क्रिस्टल रूप में, सिलिकॉन यह फ्लेक्षेद है जब वास्तव में कोई हिस्टैरिसीस और इसलिए लगभग कोई ऊर्जा का अपव्यय होता है जिसका अर्थ है कि एक लगभग पूर्ण Hookean सामग्री है। के रूप में अच्छी तरह से अत्यधिक रेपेअतब्ले गति के लिए बनाने के रूप में, यह भी कहा कि यह बहुत कम थकान से ग्रस्त है और तोड़ने के बिना चक्र के अरबों के लिए अरबों की सीमा में सेवा जन्मों हो सकता है के रूप में बहुत विश्वसनीय सिलिकॉन बनाता है।

पॉलिमर:

इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग सिलिकॉन उद्योग के लिए बड़े पैमाने की एक अर्थव्यवस्था प्रदान करता है, भले ही क्रिस्टलीय सिलिकॉन उत्पादित करने के लिए एक जटिल और अपेक्षाकृत महंगी सामग्री अब भी है। दूसरी तरफ पॉलिमर सामग्री विशेषताओं के एक महान विविधता के साथ भारी मात्रा में उत्पादन किया जा सकता है। एमईएमएस उपकरणों इस तरह के इंजेक्शन मोल्डिंग, उभार या स्टीरियोलिथोग्राफी रूप प्रक्रियाओं द्वारा पॉलिमर से बने हैं और इस तरह के डिस्पोजेबल रक्त परीक्षण कारतूस के रूप में मिच्रोफ्लुदिच अनुप्रयोगों के लिए विशेष रूप से अच्छी तरह से अनुकूल होते जा सकता है।

धातु:

धातु भी मेमेस तत्वों को बनाने के लिए इस्तेमाल किया जा सकता है। धातुओं यांत्रिक गुणों के संदर्भ में सिलिकॉन द्वारा प्रदर्शित लाभ में से कुछ भी नहीं है, जबकि अपनी सीमाओं के भीतर इस्तेमाल किया, जब धातुओं विश्वसनीयता का बहुत ही उच्च डिग्री प्रदर्शन कर सकते हैं। धातु विद्युत, वाष्पीकरण, और स्पुत्तेरिङ प्रक्रियाओं द्वारा जमा किया जा सकता है। आमतौर पर इस्तेमाल धातुओं सोना, निकल, एल्यूमीनियम, तांबा, क्रोमियम, टाइटेनियम, टंगस्टन, प्लेटिनम और चांदी] में शामिल हैं।

मिट्टी के पात्र:

सिलिकॉन, एल्यूमीनियम और टाइटेनियम के साथ-साथ सिलिकॉन कार्बाइड और अन्य मिट्टी के पात्र का नित्रिदेस तेजी के कारण सामग्री के गुणों के लाभप्रद संयोजन के लिए एमईएमएस निर्माण में लागू कर रहे हैं। संरचना में क्रिस्टलीकृत और इस तरह प्य्रोएलेच्त्रिच् और पिएज़ोएलेच्त्रिच् गुण सामान्य और कतरनी बलों के प्रति संवेदनशीलता के साथ, उदाहरण के लिए, सेंसर को सक्षम करने से पता चलता है। टिन, दूसरे हाथ पर, एक उच्च विद्युत चालकता और बड़े लोचदार मापांक उल्त्रथिन झिल्ली के साथ इलेक्ट्रोस्टैटिक एमईएमएस प्रवर्तन योजनाओं का एहसास करने के लिए अनुमति दर्शाती है। इसके अलावा, बिओचोर्रोसिओन के खिलाफ टिन के उच्च प्रतिरोध बिओगेनिच वातावरण में और बिओसेन्सोर में अनुप्रयोगों के लिए सामग्री उत्तीर्ण ।

एमईएमएस विनिर्माण प्रौद्योगिकी:

थोक मिच्रोमछिनिङ:

थोक मिच्रोमछिनिङ सिलिकॉन आधारित एमईएमएस के सबसे पुराने प्रतिमान है। एक सिलिकॉन वेफर की पूरी मोटाई [। सूक्ष्म यांत्रिक संरचनाओं के निर्माण के लिए प्रयोग किया जाता है सिलिकॉन विभिन्न नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं का उपयोग मछिनेद है। गिलास प्लेट या अतिरिक्त सिलिकॉन वेफर्स एनोडिक संबंध में तीसरा आयाम और भली भांति बंद एन्चप्सुलतिओन के लिए सुविधाओं को जोड़ने के लिए प्रयोग किया जाता है। थोक मिच्रोमछिनिङ 1980 और 90 के दशक में सेंसर उद्योग बदल गया है कि उच्च प्रदर्शन के दबाव सेंसर और अच्चेलेरोमेतेर्स सक्षम करने में आवश्यक हो गया है।

भूतल मिच्रोमछिनिङ:

भूतल मिच्रोमछिनिङ संरचनात्मक सामग्री के रूप में, बल्कि सब्सट्रेट खुद का उपयोग करने से एक सब्सट्रेट की सतह पर जमा परतों का उपयोग करता है। भूतल मिच्रोमछिनिङ एमईएमएस के

संयोजन के लक्ष्य के साथ, तलीय एकीकृत सर्किट प्रौद्योगिकी के साथ और अधिक संगत सिलिकॉन की मिच्रोमछिनिङ प्रस्तुत करने के लिए देर से 1980 के दशक में बनाया है और उसी पर सर्किट एकीकृत किया गया सिलिकॉन बिस्किट। मूल सतह मिच्रोमछिनिङ अवधारणा चल यांत्रिक संरचनाओं के रूप में नमूनों और अंतर्निहित ऑक्साइड परत की बलि नक़्क़ाशी द्वारा जारी पतली पोल्य्च्र्य्स्तल्लिने सिलिकॉन परतों पर आधारित था। इंटरडिजिटल कंघी इलेक्ट्रोड में विमान बलों का उत्पादन करने के लिए और में विमान आंदोलन चपचितिवेल्य पता लगाने के लिए इस्तेमाल किया गया। इस एमईएमएस प्रतिमान है उदाहरण के लिए कम लागत के अच्चेलेरोमेतेर्स के निर्माण सक्षम मोटर वाहन एयर बैग सिस्टम और कम प्रदर्शन और / या उच्च जी पर्वतमाला पर्याप्त हैं जहां अन्य अनुप्रयोगों। एनालॉग डिवाइसेज सतह मिच्रोमछिनिङ के औद्योगीकरण का बीड़ा उठाया है और एमईएमएस और एकीकृत सर्किट के सह एकीकरण का एहसास हो गया।

उच्च पहलू अनुपात (हरियाणा) सिलिकॉन मिच्रोमछिनिङ:

दोनों थोक और सतह सिलिकॉन मिच्रोमछिनिङ सेंसर, स्याही जेट नलिका, और अन्य उपकरणों के औद्योगिक उत्पादन में इस्तेमाल किया जाता है। लेकिन कई मामलों में इन दोनों के बीच भेद कम हो गई है। एक नया नक़्क़ाशी प्रौद्योगिकी, गहरी प्रतिक्रियाशील आयन नक़्क़ाशी, कंघी संरचनाओं के साथ थोक मिच्रोमछिनिङ की खासियत अच्छा प्रदर्शन गठबंधन करने के लिए यह संभव बना दिया है और सतह मिच्रोमछिनिङ के ठेठ में विमान संचालन। यह आम बात है, जबकि सतह मिच्रोमछिनिङ में 2 माइक्रोन की रेंज में संरचनात्मक परत की मोटाई के लिए है, हर सिलिकॉन मिच्रोमछिनिङ में मोटाई 10 से 100 माइक्रोन के लिए हो सकता है। थोक सिलिकॉन वेफर के लिए प्रक्रियाओं को भी (चीख) बनाया गया है, हालांकि आमतौर पर हरियाणा सिलिकॉन मिच्रोमछिनिङ में प्रयुक्त सामग्री महामारी पाली के रूप में जाना जाता है मोटी पोल्य्च्र्य्स्तल्लिने सिलिकॉन, और बंधुआ सिलिकॉन पर इन्सुलेटर (एसओआई) वेफर्स हैं। गिलास मिलाना संबंध, अनोदिच संबंध या एमईएमएस ढांचे की रक्षा करने के लिए प्रयोग किया जाता है। इंटीग्रेटेड सर्किट आम तौर पर हर सिलिकॉन मिच्रोमछिनिङ के साथ संयुक्त नहीं कर रहे हैं।